企業永續
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空氣污染防制
台半致力於空氣污染防制以落實環境保護。本公司空氣汙染物排放包括酸、鹼性廢氣及揮發性有機廢氣(VOCs)，藉由酸鹼洗滌塔及沸石轉輪焚化系統等各項防治設備來處理製程所排放之氣體，並透過火焰離子化偵檢器( GC-FID 系統) 持續監控，確保防制設備處理效率符合法規標準。2022 年台半因產能擴充，使 VOCs 實際排放量較2021年微幅增加。
空污防治監測
台半在廢氣排放管理方面遵循《半導體製造業空氣污染管制及排放標準》，對於防治空污的設備透過內部與外部稽核方式並行進行定期監測。2022 年台半宜蘭廠和利澤廠VOCs 平均排放量分別為0.202kg/hr 及0.33kg/hr，均優於環保署訂定之排放標準。
廢氣處理
台半的主要空氣污染物分為酸、鹼廢氣與揮發性有機廢氣。台半依據廢氣種類及特性不同，分別利用相對應之處理設備及流程以預防污染。
| 類型 | 處理方式 |
| 酸/ 鹼性廢氣 | 將酸、鹼性廢氣集中至/ 鹼洗滌塔進行妥善處理，經處理後之廢氣符合排放標準。 |
| 揮發性有機廢氣 | 利澤廠: VOCs 經過沸石轉輪吸附濃縮，接續高溫脫附、觸媒焚化燃燒，經處理後之廢氣符合排放標準，揮發性有機廢氣削減率達90%以上。 宜蘭廠: VOCs 經由洗滌塔處理，以洗滌液沖洗廢氣內的VOCs，並將沖洗的廢液排到廢水系統處理。因宜蘭廠區VOCs 濃度較利澤廠低，以洗滌塔方式處理，無須經沸石轉輪吸附濃縮淨化。 |
詳細內容，請參閱2022永續報告書 5.2.3 空氣污染防制。